工業(yè)廢氣處理是指將工廠、車間等工業(yè)場所產(chǎn)生的廢氣在外排前進行預處理，使其達到外排的標準。一般工業(yè)廢氣處理包括有機廢氣處理、粉塵廢氣處理、酸堿廢氣處理、異味廢氣處理、空氣消毒凈化等。

工業(yè)廢氣處理氣體具體成分包含丙酮、丁酮、丁醇、甲醇、甲醛、苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、乙烷、烷烴、天然氣、汽車尾氣、硫化氫、氨氣和各種有機廢氣、酸性和堿性廢氣。

工業(yè)廢氣處理方法有多種，如活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物法、等離子體法等。由于工業(yè)廢氣種類繁多，因此對于相應的工業(yè)廢氣，采用科學技術、技術組合與分離，可以更好、更高效地去除有害物質(zhì)，例如低溫等離子技術與紫外光解凈化相結(jié)合，這兩種方法的協(xié)同運行，會使它們的工作區(qū)相互融合，提高電子的二次激發(fā)，形成場強區(qū)，加強各自的降解性能，使污染物徹底消除。